自动晶圆补胶机

图片名称
适用于

将人工放在承载台上的晶圆进行补胶

主要流程说明

●人工将晶圆放在顶升机构的3个顶针上,晶圆对中机构将晶圆定位,定位完成后顶升机构下降到平台下方,点胶气缸将点胶针推到晶圆的边缘,晶圆加热吸真空载台对晶圆进行旋转同时点胶机构点胶 ●主要由点胶组件、晶圆定位组件、晶圆顶升机构

产品优势

●点胶选用客供的针筒和针头,方便清洁和更换

方便

点胶组件(带加热功能)

所属分类:

半导体封测设备

产品详情


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